Роль сжатого воздуха для дыхания в чистой комнате

Технические инструкции по действию сжатого воздуха для дыхания в чистых помещениях

В высококлассных отраслях промышленности, таких как точное производство, биомедицина, электронные полупроводники и т. д., чистые комнаты являются основной производственной средой, и чистота воздуха непосредственно связана с качеством продукции и стабильностью процесса.Сжатый воздух для дыхания является ключевой инфраструктурой в чистых помещениях, играет незаменимую роль в обеспечении безопасности персонала, поддержании чистоты окружающей среды и приводе точного оборудования путем обеспечения чистых источников энергии и технологической среды.Ниже приводится описание его технической ценности и системных характеристик:

I. Поддержание окружающей среды основной поддержки

1. Построение среды положительного давления：
   • Благодаря непрерывному подаче чистого сжатого воздуха, поддержание положительного раздела давления (обычно 5 – 15 Па) в чистой комнате относительно внешней среды, эффективно блокирование вторжения внешних загрязнителей.
   • В чистых помещениях с требованием класса чистоты ISO 5 (класса 100), необходимо проводить полную замену воздуха 15 – 20 раз в час, при этом сжатый воздух для дыхания должен составлять 30% – 40% от объема воздуха.
2. Оптимизация структуры воздушного потока：
   • При использовании ламиновой системы подачи воздуха ФФУ (фильтрационный блок вентилятора) с приводным сжатым воздухом для дыхания обеспечивает вертикальный однонаправленный воздушный поток от 0,3 до 0,5 м / с, обеспечивая вывод частиц из очищенной зоны по кратчайшему пути.
   • В локальной рабочей зоне 100 классов с помощью устройства воздушного занавеса, приводимого в действие сжатым воздухом, может быть сформирован чистый барьер шириной 0,5 – 1,0 м, препятствующий распространению частиц, создаваемых рабочими силами персонала.

II. Системы обеспечения безопасности персонала

1. Респираторная защита：
   • Предоставление источника чистого воздуха для респираторов с положительным давлением, обеспечение личной безопасности операторов в лабораториях биобезопасности и токсичных и опасных рабочих зонах.
   • Сжатый воздух для дыхания должен соответствовать стандарту качества сжатого воздуха для дыхания EN 12021, содержание масла ≤ 0,01 мг / м3, содержание СО ≤ 5ppm, содержание водяного пара ≤ -11°C точки росы.
2. Поддержка эвакуации в чрезвычайных ситуациях：
   • В экстренных ситуациях с помощью сжатого воздуха можно быстро открыть дверь за 0,3 секунды, что позволяет эвакуировать людей.
   • Оборудование аварийного дыхательного аппарата, которое обеспечивает непрерывное снабжение воздухом более 30 минут в случае внезапного отключения электроэнергии и других ситуаций, гарантируя безопасную эвакуацию.

III. Источник энергии для точного процесса

1. Контроль микроэкологической среды：
   • Вокруг точных приборов, таких как литографические машины, оборудование для контроля пластин, система микроэкологии с сжатого воздуха может поддерживать местную чистоту до уровня ISO 1 (десятого уровня), значение вибрации ≤0,5 мкм.
   • Шизмическая стойка с технологией подвешивания сжатого воздуха может изолировать внешние вибрационные помехи и обеспечить точность обработки наноуровневого масштаба.
2. Автоматизированное вождение оборудования：
   • Предоставляет чистую мощность для пневматических манипуляторов, вакуумных всасывателей и других исполнительных механизмов, точность повторного позиционирования может достигать ± 005 мм.
   • В сверхточном производстве, таком как сборка жестких дисков, микроперемещаемая платформа, управляемая сжатым воздухом, обеспечивает наномасштабное пошаговое управление.

IV. Поставка специальной технологической среды

1. Обработка поверхностей：
   • При изготовлении чипов плазменное очистное оборудование с сжатым воздухом может обеспечить удаление субнаномерных загрязнителей на поверхности пластин.
   • При обработке оптических элементов аэрозоль образуется смешиванием сжатого воздуха с абразивным средством для достижения сверхгладкой обработки поверхности с поверхностной шероховатостью Ra≤0,2 нм.
2. Процесс сухого охлаждения：
   • В процессе нанесения полюсов литийных батарей сушивающее устройство подвешивания, приводимое в действие сжатым воздухом, может обеспечить остаток растворителя ≤ 0,05%.
   • В корпусе светодиодного чипа используется технология охлаждения сжатым воздухом, которая может достичь быстрого охлаждения при температуре -40°C и уменьшить дефекты термического напряжения.

V. Спецификации конфигурации системы

1. Система многоступенчатой очистки：
   • Установка очистки трех ступеней предуфильтра (5 мкм), точного фильтра (0,01 мкм) и адсорбтора активированного угля обеспечивает чистоту сжатого воздуха по стандарту ISO 8573 – 1 класса I.
   • В биофармацевтической пылевой комнате необходимо дополнительно установить фильтр для стерилизации (0001μm), эффективность стерилизации ≥ 99,9999%.
2. Интеллектуальные платформы мониторинга：
   • Мониторинг в режиме реального времени 12 параметров, таких как давление сжатого воздуха, расход, точка росы, содержание масла, частота сбора данных ≥ 1 раз / сек.
   • Устанавливается порог третий уровень тревоги, в течение 10 секунд после превышения предела запускается переключение резервного источника воздуха, а также запускается световой и звуковой тревоги и уведомление SMS.
3. Проектирование трубопроводной системы：
   • Главная газопровода изготовлена из бесшивной трубы из нержавеющей стали 316L, шероховатость внутренней стенки ≤0,4μm, сварка проходит электролизирующую полировку.
   • На конечных ответвлениях оборудованы автоматические дренажные клапаны, которые автоматически выпускают конденсацию каждые 2 часа, предотвращают размножение микроорганизмов.

VI. Стандарты эксплуатационного обслуживания

1. Требования к ежедневному патрулированию：
   • Проверять температуру выхлопного газа, давление и уровень масла воздушного компрессора каждые 2 часа, записывать кривую изменения давления газового резервуара.
   • Ежедневно проверяют разницу давления в конце фильтра, немедленно заменяют фильтровые элементы при превышении исходного значения на 50%.
2. Ежегодный проект проверки：
   • Проводится полный контроль сжатого воздуха, включая общее количество микроорганизмов, содержание эндоксинов, концентрацию ЛОС и другие показатели.
   • Проверить давление пуска предохранительного клапана, немедленно заменить при ошибке более ±3% и провести испытание на давление трубопровода.

Предприятиям рекомендуется создать систему управления качеством сжатого воздуха, от выбора оборудования для источника воздуха, приемки строительства трубопроводов до повседневного эксплуатационного обслуживания, осуществлять контроль качества всего процесса.Для системы непрерывной работы, должна быть установлена интеллектуальная платформа мониторинга, чтобы реализовать мониторинг в режиме реального времени и раннее предупреждение об аномалии ключевых параметров, таких как давление, расход, чистота и т. д., чтобы обеспечить постоянную стабильность среды очищенной комнаты в пределах технологических требований.