Какова чистота сжатого воздуха, используемого в полупроводниковой промышленности?
В производстве полупроводников чистота сжатого воздуха напрямую влияет на качество производства чипов и стабильность оборудования.Обычно промышленность требует очень высоких стандартов чистоты сжатого воздуха, чтобы избежать воздействия мелких примеси на точные процессы.
Водяные одновинковые воздушные компрессоры с смазкой Гранклина выводят воздух посредством физического сжатия, его основным преимуществом является дизайн без масла – использование чистой воды вместо традиционных смазочных масел, прекращение остатков масла из источника, удовлетворение полупроводниковых технологий для “нулевого масляного загрязнения” основных требований.Однако исходный сжатый воздух все еще может содержать естественную конденсирующую влагу и мелкие частицы в воздухе, которые требуют дальнейшей очистки с помощью оборудования для переработки.
Стандарт чистоты сжатого воздуха, обычно используемого в полупроводниковой промышленности, обычно включает: температура росы должна быть ниже -40°C (обеспечение глубокой сушки), содержание твердых частиц должно достигать класса 1 или выше стандарта ISO 8573 – 1 (очень низкая концентрация твердых частиц диаметром частиц ≤ 0,1 мкм), содержание масла должно быть строго равным нулю.Бесмасляный воздух от компрессоров Гренклина обеспечивает чистую основу для оборудования по переработке. Благодаря установке холодильных сушильщиков, сушильщиков и точных фильтров, можно эффективно удалить остаточную влагу и твердые частицы, гарантируя, что конечный газ отвечает строгим требованиям полупроводникового процесса.
Преимущества данного варианта заключаются в том, что безмасляные характеристики воздушных компрессоров Гренклин предотвращают загрязнение сушильного оборудования и системы фильтрации маслями и продлевают срок службы модулей последующей обработки; в то же время стабильные характеристики расхода и давления сжатого воздуха обеспечивают эффективную работу оборудования последующей обработки и снижают риск нестабильности результатов очистки в результате колебаний давления воздуха.
Рекомендуется, чтобы полупроводниковые предприятия провели комплексную оценку программы очистки в соответствии с потреблением газа, требованиями к непрерывности и влажностью окружающей среды для конкретного процесса: при высокой влажности или очень высоких требованиях к сухости предпочтительно выбирать комбинированную сушилку и многоступенчатую фильтрацию; если влажность окружающей среды контролируется и высокая технологическая толерантность, комбинированную сушилку и точный фильтр также может быть экономичным выбором.Комбинация воздушных компрессоров Гранклина и оборудования для переработки обеспечивает полупроводниковой промышленности надежное решение для использования газа, отвечающее высококачественным стандартам производства.