Какую роль играет воздушный компрессор для оборудования покрытия?
Воздушный компрессор играет важную роль в оборудовании покрытия, в основном в следующих аспектах:
I. Принцип работы оборудования покрытия
Оборудование для покрытия обычно осаждает тонкий слой пленки на поверхности материала посредством физического парового осаждения (PVD) или химического парового осаждения (CVD), чтобы улучшить его поверхностные свойства.В качестве примера приведем магниторонную распыленность, ее принцип заключается в том, чтобы использовать принцип катодной распыленности для покрытия:
-
Процессы ионизацииПри воздействии электрического поля высокого напряжения атомы Ar ионизируются на ионы Ar + и электроны, которые могут независимо двигаться.
-
Электронное движение: Электроны в процессе полета к аноду под воздействием магнитного поля, проходят вдоль поверхности цели в виде циклопии, постоянно сталкиваются с атомами Ar, ионизируя большое количество ионов Ar +.
-
Ионные удары.: ион Ar + под воздействием ускоренного электрического поля высокого напряжения, сталкивается с мишенью и высвобождает энергию, что приводит к тому, что атомы на поверхности мишенью поглощают кинетическую энергию ионов Ar + и освобождаются от первоначальной решетки, а нейтральные атомы мишенью уходят от поверхности мишенью и летают к подложке.
-
Осаждение пленкиАтомы целевого материала осаждаются на подложке, образуя тонкую пленку, путем контроля времени и условий покрытия, можно получить пленку различной толщины и свойств.
II. Способ применения воздушного компрессора в оборудовании покрытия пленки
В оборудовании для покрытия воздушный компрессор в основном используется для обеспечения чистого, сухого сжатого воздуха для обеспечения эффективности и безопасности процесса покрытия.Основные способы применения сжатого воздуха в оборудовании покрытия состоят из следующих:
-
Приводные устройства: Некоторые устройства покрытия требуют сжатого воздуха для их работы, например, пневматические клапаны, цилиндры и т. д.
-
Перевозка материалов: В некоторых установках покрытия сжатый воздух используется для транспортировки покрытого материала, например для транспортировки порошка или жидкости покрытия в зону покрытия.
-
Управление средой: Во время покрытия необходимо контролировать атмосферу камеры покрытия для обеспечения стабильности и качества процесса покрытия.Сжатый воздух может быть использован для управления атмосферой камеры покрытия, например, вводить определенную долю реакционного газа (например, кислород и азот) для реакционной распыления, чтобы получить пленку соединений с различным составом.
III. Влияние воздушного компрессора на эффект покрытия
Качество сжатого воздуха, предоставляемого воздушным компрессором, непосредственно влияет на эффекты покрытия.Чистый, сухой сжатый воздух может уменьшить влияние примесей и влаги на процесс покрытия и повысить качество покрытия.В частности, влияние воздушного компрессора на эффект покрытия главным образом отражается в следующих аспектах:
- Сокращение дефектов покрытия：
- Если сжатый воздух содержит масло или воду, это может привести к дефектам покрытия, таким как уменьшение отверстия, отверстия и т. д., что влияет на внешний вид и свойства покрытия.
- Повышение ровности покрытия：
- Частичные примесеи в сжатом воздухе также могут оказывать неблагоприятное воздействие на покрытие, например, влиять на плоскость и гладкость покрытия.Чистый, сухой сжатый воздух может уменьшить воздействие этих частиц на покрытие и повысить плоскость покрытия.
- Обеспечение стабильности процесса покрытия：
- За счет контроля давления и расхода сжатого воздуха можно обеспечить стабильность процесса покрытия, тем самым повысить качество покрытия.
В целом, воздушные компрессоры играют важную роль в оборудовании для покрытия, обеспечивая эффективность и безопасность процесса покрытия и повышая качество покрытия путем обеспечения чистого, сухого сжатого воздуха.